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基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器

1266   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:32:04
本發明涉及一種基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器，該濕敏傳感器為電阻式，包括硅片襯底，在硅片襯底上設有WO3薄膜，WO3薄膜之上設有插指電極，并且在WO3薄膜之上、插指電極四周設有ZrO2薄膜，在插指電極和ZrO2薄膜之上設有CeO2薄膜，即，在WO3薄膜和CeO2薄膜之間設有插指電極和ZrO2薄膜；這樣使得該插指電極能夠同時接觸WO3薄膜、CeO2薄膜和ZrO2薄膜。
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“基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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