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具有高硬且疏水特性的保護涂層及制備方法與應用

830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-02 00:30:08
本發明涉及一種具有高硬且疏水特性的保護涂層及其制備方法，可以應用于切削工具鉆探工具等表面改性的技術領域。通過直流濺射Ta以獲得更高的濺射率，通過射頻濺射Cu以獲得低濺射率，最終實現對Cu含量的精確調控并在TaN結構取代Ta實現固溶，破壞Ta和N原子周圍的電子結構，引起自發氧化過程并在薄膜表面獲得氧化亞銅，發揮氧化亞銅滿殼層電子結構以達到疏水效果，水接觸角超過100°。而固溶體的形成進步一增強了TaN的力學性能，提高了硬度，達到35GPa以上。這種涂層的制備方法簡單高效，工藝簡單，成本低廉，能夠廣泛應用于地球深部的礦物資源、能源資源的勘探開發、深海探測技術鉆探工具及切削工具的保護領域。
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