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新型晶體管的制作方法

1521   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-02 00:30:08
本本發明提供一種新型晶體管的制作方法，將具有介電、鐵電、光電、熱電、超導、巨磁阻等性能的鈣鈦礦結構氧化物材料交叉耦合，采用全外延工藝，每層的層厚和載流子濃度都較鍺硅晶體管更易控制，結面更銳，加上鈣鈦礦結構氧化物材料熔點高，穩定性好，鈣鈦礦結構氧化物晶體管廣泛應用于電子器件，尤其是與錳酸鑭相關的晶體管對磁場很敏感，與鈦酸鋇相關的晶體管對熱光敏感，因此可制作一些特殊的探測器，也可發展成為鈣鈦礦結構氧化物集成電路。
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