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后置分光瞳差動共焦LIBS光譜-質譜顯微成像方法與裝置

882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-02 00:30:07
本發明公開的后置分光瞳差動共焦LIBS光譜?質譜顯微成像方法與裝置，屬于共焦顯微成像、光譜成像及質譜成像測量技術領域。本發明將后置分光瞳激光差動共焦顯微成像技術與光譜、質譜探測技術結合，利用經超分辨技術處理的后置分光瞳差動共焦顯微鏡的微小聚焦光斑對樣品進行高空間分辨形態成像，利用質譜探測系統對樣品微區帶電分子、原子等進行質譜探測，利用光譜探測系統對聚焦光斑激發的激光誘導擊穿光譜進行微區光譜探測，利用激光多譜探測的優勢互補和結構融合實現樣品微區完整組分信息與形態參數的高空間分辨和高靈敏成像與探測。本發明可為生物醫學、材料科學、礦產、微納制造等領域形態成像及物質組分探測提供全新的有效技術途徑。
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