本發明公開了一種壓電復合材料制備方法,其包括一下步驟:步驟一、用精密切割機在壓電材料上切割出刻蝕導槽;步驟二、將切割后的壓電材料放入刻蝕腔或者刻蝕液內進行刻蝕,控制刻蝕的速度和時間,當刻蝕的深度和寬度達到壓電復合材料的設計要求后,停止刻蝕,制得壓電晶柱;步驟三、清洗、烘干經過刻蝕的壓電材料;步驟四、在壓電材料的刻蝕導槽內進行非壓電相的填充和固化成形,得到壓電復合材料半成品;步驟五、減薄拋光后得到壓電復合材料。其優點在于:方法簡單,操作方便,不但克服切割?填充法對高頻壓電復合材料制備的限制,又而且減弱等離子反應刻蝕工藝造成的壓電材料各向異性傾角。
聲明:
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