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相控天線陣列器件

1256   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明提供一種相控天線陣列器件(100)及其制造方法(400)。該器件(100)包括第一介電層(D1)和至少一個嵌入該第一介電層(D1)的裸片(101)。該裸片(101)配置用于輸出用以驅動天線元件的相移信號。該器件(100)還包括設置在該第一介電層(D1)上的第二介電層(D2)。此外，互連結構(102)形成在第一金屬層(M1)中，該第一金屬層(M1)設置在該第一介電層(D1)和該第二介電層(D2)之間。另外，多個第一天線元件(103)形成在設置于該第二介電層(D2)的表面上的該第二金屬層(M2)中。這些第一天線元件(103)經由該互連結構(102)與該至少一個裸片(101)連接。
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“相控天線陣列器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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