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干法轉印光刻膠制備微納結構的方法

1093   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明揭示了一種干法轉印光刻膠制備微納結構的方法。本發明通過對襯底進行修飾以降低光刻膠與襯底的粘附力，然后在光刻膠上曝光并顯影得到所需的結構，再利用黏貼層選擇性的把光刻膠從襯底上剝離，把剝離下來的光刻膠轉移釋放到所需要的襯底上，然后鍍金屬并lift?off處理，本發明突破了傳統加工對襯底材料，形狀和尺寸的限制，可實現任意襯底上微納結構的制備。
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聲明：
“干法轉印光刻膠制備微納結構的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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