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蒸鍍裝置及其控制方法、使用了蒸鍍裝置的蒸鍍方法、以及器件的制造方法

1052   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
一種共蒸鍍不同的蒸鍍材料的蒸鍍裝置，包括：腔室，蒸鍍對象物設于腔室內；向蒸鍍對象物吐出第1蒸鍍材料的蒸氣的第1蒸鍍源；向蒸鍍對象物吐出第2蒸鍍材料的蒸氣的第2蒸鍍源；對第1蒸鍍材料進行加熱的第1加熱部；對第2蒸鍍材料進行加熱的第2加熱部；和控制第1加熱部及第2加熱部的加熱控制部；加熱控制部構成為能夠將第1及第2加熱部控制成第2蒸鍍材料的升溫比第1蒸鍍材料的升溫滯后預定時間而開始。
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