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用于在電子器件中形成腔室的方法和由此形成的器件

898   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
公開了一種用于在電子器件(310)中形成腔室(350)的方法,該方法包括在固化的芯材料(334)上制備外層表面(336),該固化芯材料(334)在形成于襯底(312)中的凹槽(316)中。該方法還包括在固化芯材料(334)的制備的外層表面(336)和圍繞凹槽(316)的部分襯底(312)上建立層(338),該建立的層(338)和襯底(312)限定出腔室(350)。
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