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具有NbN SNS約瑟夫森結的超導集成電路及其制作方法

1164   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明提供一種具有NbN SNS約瑟夫森結的超導集成電路及其制作方法，該超導集成電路包括襯底、功能層、第一隔離層、第一配線部、第二配線部、第二隔離層、第一接地層及第二接地層，其中，功能層位于襯底上表面且包括底電極、結勢壘層及頂電極，第一隔離層覆蓋襯底上表面及功能層顯露表面且設有第一接觸孔及第二接觸孔，第一配線部及第二配線部分別填充第一接觸孔及第二接觸孔，第二隔離層覆蓋第一隔離層上表面及第一配線部和第二配線部顯露表面且其中設有第一通孔及第二通孔，第一及第二接地層分別填充第一通孔與第二通孔。本發明通過采用較厚的金屬氮化物作為結勢壘層，提升了約瑟夫森結單元的臨界電流密度，提高了電路的最高工作頻率。
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