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膜形成方法及形成裝置、電子裝置及其制法、電子機器

786   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明提供一種可有效地使用材料,同時可形成高質量的有機薄膜的膜形成方法、膜形成裝置及使用其制造出的電子裝置、電子機器。有機薄膜形成裝置(10)備有:溶液供給部(11)、氣體供給部(12)、軟離子化部(13)、離子分開部(14)、偏轉部(15)及成膜部(16)。用軟離子化部(13)將應成膜的有機材料形成微細的液滴,同時離子化或使其帶電后,使其液滴汽化并生成氣體狀的擬分子離子。而且,在離子分開部(14)中從擬分子離子中分開有機材料擬分子離子。另一方面,利用形成有機薄膜的電子裝置基板上預先形成的電路,向該電子裝置基板所形成的多個電極提供所定的附著電壓,以使有機材料擬分子離子選擇性地附著于所定電極上。
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