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含鉭薄膜的刻蝕工藝

924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明揭示了一種含鉭薄膜的刻蝕工藝，所述刻蝕工藝包括：步驟S1、在含鉭薄膜上沉積一層或者多層的隔離材料；步驟S2、采用光刻工藝，刻蝕隔離材料及含鉭薄膜。所述步驟S2具體包括：步驟S21、沉積光刻膠后進行曝光、顯影工藝；步驟S22、采用刻蝕工藝先刻蝕上述的隔離材料；步驟S23、采用與步驟S22中的刻蝕工藝相同或者不同的工藝參數刻蝕含鉭薄膜，而后去除光刻膠；或者，在刻蝕隔離材料后先去除光刻膠，隨后以隔離材料作為硬掩膜，再次刻蝕去除含鉭薄膜。本發明提出的含鉭薄膜的刻蝕工藝，可以保證刻蝕后此薄膜表面潔凈，保障后續工藝的順利和性能（如接觸）的可靠。同時，本發明工藝穩定可靠且成本低。
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聲明：
“含鉭薄膜的刻蝕工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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