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底電極紅外探測器結構

1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明提供一種底電極紅外探測器結構，包括：設于介質結構內的底電極結構，所述底電極結構包括金屬互連層和位于所述金屬互連層上的金屬通孔；設于所述介質結構表面的反射層；設于所述反射層上微橋結構，所述微橋結構包括微橋橋面及支撐結構，所述微橋橋面包括自下而上依次設置的第一紅外敏感層和紅外保護層，所述支撐結構包括自內向外依次設置的電極柱、第一功能層和第二紅外敏感層。通過第二紅外敏感層與反射層形成歐姆接觸，有效提升器件的性能。
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“底電極紅外探測器結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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