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利用光刻膠固定柔性材料襯底的方法

1077   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:06:02
本發明涉及一種利用光刻膠固定柔性材料襯底的方法，屬于微電子技術領域。選取平的硬質襯底和柔性襯底，清洗、吹干、烘干，所述硬質襯底材料為石英片，所述柔性襯底材料為聚酰亞胺PI、對苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA；襯底粘合，利用粘合材料將硬質襯底和柔性襯底較好地粘合、固定，所述襯底粘合材料為光刻膠。本發明解決了柔性襯底材料在工藝過程中的彎曲、翹曲問題，同時，解決了襯底間產生氣泡的問題。保證了柔性襯底在功能材料生長與器件制備過程中的平整度，可以應用于柔性可穿戴電子技術、柔性顯示、柔性傳感器、柔性太陽能電池等技術領域中。
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“利用光刻膠固定柔性材料襯底的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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