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基于MEMS工藝的LED封裝技術

1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:06:02
本發明涉及一種LED封裝技術，尤其是涉及一種基于MEMS工藝的LED封裝技術。所述封裝技術包括：采用Si基板作為封裝載體，采用錫膏作其貼片膠，采用共晶回流作為焊接手段，采用MEMS工藝直接在Si基板制作支架，采用參雜高折射率的納米級光介質以及熒光粉的硅膠灌封材料，采用凸型光窗作為灌封方式。和現有技術相比，本發明的優點是采用Si基MEMS技術，可以將LED封裝的功能材料屬性和結構材料屬性完美的結合，通過半導體工藝實現靜電保護功能和COB結構的電器互連,通過MEMS工藝實現封裝的光學結構。Si材料具有較低的熱阻和成熟的加工工藝，可以實COB低成本、大規模的批量生產。
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聲明：
“基于MEMS工藝的LED封裝技術” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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