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相變可控的全無機鈣鈦礦薄膜制備方法及器件應用

991   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:40:06
本發明屬于光電功能材料技術領域，尤其涉及一種相變可控的全無機鈣鈦礦薄膜制備方法及器件應用。所述方法包括：(1)將先驅物溴化鉛和溴化銫分別置于氣相沉積裝置內，將襯底置于沉積區，并對整個裝置抽真空；(2)向氣相沉積裝置內通入惰性氣體；(3)設定沉積溫度和沉積時間，沉積溫度選自500?800℃，不同沉積溫度下，鈣鈦礦薄膜的成分和晶型不同。本發明采用化學氣相沉積方法，工藝條件簡單，易于精確控制，適合產業化生產，同時薄膜均勻性好，與襯底材料附著性，覆蓋性好，制備的光電薄膜，具有廣闊的應用前景。本發明通過改變沉積溫度，實現鈣鈦礦相從CsPb2Br5到CsPbBr3可控生長?；诒景l明得到的鈣鈦礦薄膜制備的光電探測器，表現出良好的光電響應和開關特性。
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