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薄膜材料集成方法

1135   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明涉及一種薄膜材料集成方法，包括提供一基底；形成石墨烯層于所述基底的上表面；形成至少一功能材料層于所述石墨烯層的上表面；形成剛性臨時基底層于所述石墨烯層的上表面，所述剛性臨時基底層覆蓋所述功能材料層；將由所述剛性臨時基底層、所述功能材料層組成的疊層結構從所述石墨烯層表面機械剝離；將所述疊層結構轉移至目標襯底，所述功能材料層與所述目標襯底的表面接觸；去除所述剛性臨時基底層，并使所述功能材料層留在所述目標襯底的表面。本發明通過選用剛性臨時基底，有利于減小功能材料層在工藝過程中的變形，實現與目標襯底的晶圓級對準集成。
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聲明：
“薄膜材料集成方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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