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圖案形成方法及多層布線結構形成方法

1132   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本發明提供了一種圖案形成方法,該方法包括(I)在表面上設置與基板直接化學結合的接枝聚合物,制造基板的接枝聚合物生成步驟、(II)通過液滴噴出法,按照預定的圖案形狀,在生成上述接枝聚合物的表面上配置將粒子分散在液體(分散介質)中形成的分散液液滴的粒子分散液配置步驟和(III)從上述配置的液滴中蒸發掉液體(分散介質),按照預定的圖案形狀在上述基板上形成由粒子構成的層的粒子圖案形成步驟。
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