分子牽引型真空動(dòng)密封結構和超高速真空旋轉設備

本發(fā)明公開(kāi)了一種分子牽引型真空動(dòng)密封結構和超高速真空旋轉設備，該分子牽引型真空動(dòng)密封結構用于轉子和真空腔室二者之間的動(dòng)密封，所述轉子的密封面和所述真空腔室的密封面二者之間形成密封間隙，所述真空腔室的密封面上設有導引槽，所述導引槽的出口與排氣腔連通，其中，高速旋轉的所述轉子將動(dòng)量傳遞給氣體分子，所述氣體分子在所述導引槽內被牽引至所述排氣腔中排出。本發(fā)明利用線(xiàn)速度達到分子熱運動(dòng)速度的剛體表面對氣體分子的牽引作用，實(shí)現超高速旋轉條件下對大直徑真空室的真空動(dòng)密封。利用該結構，可以實(shí)現大直徑轉子超高速旋轉時(shí)，裝置兩端的氣壓從105Pa到10?7Pa的跨越。