低偏析鋁鈧合金靶材及其制備方法

一種低偏析鋁鈧合金靶材是采用Al包覆Sc的核殼結構，其Sc含量為20～50at％，成分波動(dòng)在±0.2％之內，氧含量小于200ppm，相對密度不小于99.5％的AlSc合金靶材；其制備方法，包括：加入粘結劑的Sc粉與Al粉混粉，熱處理燒結粉末，獲得核殼結構AlSc合金粉末，熱壓燒結及獲得低偏析鋁鈧合金靶材；本發(fā)明形成的合金粉后，不存在后期傳輸過(guò)程由于兩種粉末性質(zhì)不同造成的二次偏析現象，經(jīng)過(guò)后期熱壓燒結后可獲得低偏析的AlSc合金靶材。