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稀磁半導體及其制備方法

1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
本發明提供了一種稀磁半導體的制備方法，制備方法包括如下步驟：制備復合氧化銦靶材；提供氧化鋁基片，并對氧化鋁基片進行清洗和拋光，得到第一氧化鋁基片；將第一氧化鋁基片放入真空室進行預濺射，得到第二氧化鋁基片；利用脈沖激光沉積方法，在第二氧化鋁基片上沉積氧化銅薄膜，得到第一復合氧化鋁基片；利用脈沖激光沉積方法，在第一復合氧化鋁基片上沉積氧化亞銅薄膜，得到第二復合氧化鋁基片；利用脈沖激光沉積方法，在第二復合氧化鋁基片上沉積鐵鈷釓摻雜的氧化銦薄膜。本發明通過氧化銦薄膜中摻雜鐵、鈷、釓原子，大幅度提高了稀磁半導體的磁性能，使得復合薄膜能夠有效的用于存儲器件。
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