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電子束高效、連續熔煉提純多晶硅的設備

1216   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:54:02
本實用新型屬于用物理冶金技術提純多晶硅領域。一種電子束高效、連續熔煉提純多晶硅的設備,加料真空閘室安裝與真空室相連通,出料真空閘室與真空室相連通,收集室與出料真空閘室相連通;加料真空閘室頂部帶有裝粉蓋,裝粉蓋下部安裝上裝粉桶,上裝粉桶出粉口對應落粉真空室門,落粉真空閥門連通下裝粉桶,下裝粉桶出料口下方放置硅塊,硅塊放置在坩堝中,坩堝出料口與傾斜銅槽上端連通,傾斜銅槽底端連通收集筒,收集筒底部出口對應落料真空閥門,落料真空閥門連通出料真空閘室,出料真空閥室內裝有冷卻筒,冷卻筒出料口連通收集室;真空室上方的電子束流對準硅錠。本實用新型結構簡單,采取連續加料和連續出料的熔煉方式,能耗小,成本低。
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