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光學Tamm態增強型石墨烯光電探測器及其制備方法

1057   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-01 00:30:10
本發明涉及一種光學Tamm態增強型石墨烯光電探測器,該光電探測器包括自下而上依次堆疊的P型高摻硅片(1)、金屬反射鏡(2)、絕緣層(3)、光敏層和漏源電極(4)、介質保護層(5)和介質布拉格反射鏡(6),所述的光敏層(4)為二維材料或有機光電薄膜,包括石墨烯、二硫化鉬、黑磷等、鈣鈦礦、量子點薄膜。本發明利用光學Tamm態將石墨烯的光吸收能力提升了26倍(從2.3%提升至60%),解決了純石墨烯光電探測器光響應率低的問題(從0.6mA/W提升至30mA/W);通過改變結構參數(金屬反射鏡材料,介質布拉格反射鏡參數)可以實現不同響應頻率和帶寬的光電探測,以滿足不同的應用需求。
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