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寬光譜納米陣列探測器及其制備方法

1138   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-28 01:00:10
本發明公開了一種寬光譜納米陣列探測器，包括氧化硅襯底，氧化硅襯底的表面設置ZnO納米柱周期陣列結構，ZnO納米柱周期陣列結構表面設置鈣鈦礦納米柱周期陣列結構，ZnO納米柱和鈣鈦礦納米柱上下對齊構成軸向異質結柱體，氧化硅襯底的表面及軸向異質結柱體的表面設置透明導電薄膜，位于ZnO納米柱周期陣列結構兩側的透明導電薄膜的表面設置金屬柵線電極作為導電電極供外電路驅動。本發明還公開了一種寬光譜納米陣列探測器的制備方法。本發明利用鈣鈦礦及納米柱的周期陣列拓展ZnO的光譜響應范圍，在不損失ZnO紫外光譜響應的基礎上產生較高的可見光譜的響應。
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“寬光譜納米陣列探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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