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X射線平板探測器及其制備方法

1236   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-28 01:00:09
本發明提供一種X射線平板探測器及其制備方法，所述制備方法包括：首先制備獲得薄膜晶體管，在薄膜晶體管表面形成第一導電類型傳輸層；然后在第一導電類型傳輸層表面形成有機無機雜化鈣鈦礦層；接著在有機無機雜化鈣鈦礦層表面形成第二導電類型傳輸層；再在第二導電類型傳輸層表面形成透明頂電極層；最后在透明頂電極層表面形成鈍化層、閃爍體層。本發明采用基于有機無機雜化鈣鈦礦材料的光電二極管作為探測器光敏元件，由于鈣鈦礦膜的缺陷態密度低，可以減小被缺陷捕獲的光電子數，進而可以減小探測器的殘影，提高成像性能；另外，本發明采用溶液法制備有機無機雜化鈣鈦礦光電二極管，工藝簡單，成本低，尤其適合于制備柔性X射線平板探測器。
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