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自供電雙功能光電探測器及其制備方法

1130   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-02-28 01:00:08
本發明公開了自供電雙功能光電探測器及其制備方法,其中自供電雙功能光電探測器包括鈣鈦礦微晶膜、電極層以及藍寶石襯底,所述電極層設置在所述藍寶石襯底上端,所述鈣鈦礦微晶膜覆蓋在所述電極層上端。自供電雙功能光電探測器制備方法,包括以下步驟,藍寶石襯底制備:對高透光藍寶石依次進行切割、清洗以及吹干處理,得到藍寶石襯底;電極層制備:通過光刻、蒸鍍處理,將電極層設置在所述藍寶石襯底上;鈣鈦礦前驅體溶液制備:將鈣鈦礦前體材料制備為鈣鈦礦前驅體溶液;光電探測器制備:將帶有電極層的藍寶石襯底與鈣鈦礦前驅體溶液一同放置在結晶皿中,在所述電極層上生成鈣鈦礦微晶膜,得到有鈣鈦礦微晶膜的光電探測器。
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