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半導體存儲器用高純納米鎢粉的制備方法

1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:49:02
本發明公開了屬于鎢粉末冶金技術領域的一種半導體存儲器用高純納米鎢粉的制備方法。該方法包括以下步驟：(1)向純化的鎢酸銨溶液中加入鹽酸，得到鎢酸漿液；(2)以氯化鈀為催化劑，向步驟(1)所得鎢酸漿液中通入氫氣進行液相氫還原反應，制得高純納米鎢粉。利用本發明方法制備的高純納米鎢粉，有利于高純鎢靶的致密化燒結成型，同時可以顯著降低其燒結溫度，從而獲得組織細小均勻、晶粒取向隨機的高純鎢靶材；所得高純納米鎢粉可以滿足半導體存儲器行業的使用要求。
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“半導體存儲器用高純納米鎢粉的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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