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銅合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太陽能電池

1151   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:13
本發明涉及一種銅合金靶材的制造方法,其包括:形成一靶材初坯;以及將靶材初坯在500-850℃區間進行熱機處理或熱退火處理,以令所制成的靶材中化合物相小于整體靶材面積的25%。本發明涉及一種銅合金靶材;本發明還涉及一種薄膜,其是使用如上所述的銅合金靶材經由濺鍍所形成的;本發明另關于一種太陽能電池,其包含如上所述的薄膜。通過本發明(近)單相組織的銅合金靶材,使其應用于濺鍍過程中不會誘發微電弧現象,而且也因著靶材(近)單相組織,使得靶材表面各處的濺鍍速度相等,促使形成的薄膜成分均勻,故能提升薄膜質量及良率。
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