高效能自調節精密磨拋系統

權利要求 1.一種高效能自調節精密磨拋系統，其特征在于：包括支撐平臺(1)、控制中心、安裝在支撐平臺(1)上的旋轉砂輪組件(2)、冷卻調節組件(3)及三軸協(xié)同定位組件(4)以及安裝在三軸協(xié)同定位組件(4)末端的精密調節夾具組件(5)，其中，旋轉砂輪組件(2)、冷卻調節組件(3)、三軸協(xié)同定位組件(4)以及精密調節夾具組件(5)均與控制中心電性連接， 精密調節夾具組件(5)與三軸協(xié)同定位組件(4)的末端之間設置有慣性測量單元(6)，用于監測三軸協(xié)同定位組件(4)末端的姿態(tài)，并將監測結果實(shí)時(shí)反饋至三軸協(xié)同定位組件(4)，通過(guò)三軸協(xié)同定位組件(4)實(shí)現對精密調節夾具組件(5)的位置及角度調節， 待加工件安裝在精密調節夾具組件(5)的末端并位于旋轉砂輪組件(2)的上方，通過(guò)精密調節夾具組件(5)實(shí)現對待加工件位置的精確調節， 精密調節夾具組件(5)的上部設置有紅外測溫傳感器(7)，通過(guò)紅外測溫傳感器(7)實(shí)時(shí)監測旋轉砂輪組件(2)的溫度并將溫度信號傳遞至冷卻調節組件(3)， 通過(guò)冷卻調節組件(3)對旋轉砂輪組件(2)進(jìn)行冷卻。 2.一種如權利要求1所述的高效能自調節精密磨拋系統，其特征在于：所述三軸協(xié)同定位組件(4)包括夾具固定座(41)、導軌(42)及三組調節組件，每組調節組件均包括滑塊機構(43)、伺服驅動(dòng)單元(44)、角度傳感裝置(45)、線(xiàn)性驅動(dòng)電機(46)及壓電執行器(47)，導軌(42)呈環(huán)形布置在支撐平臺(1)上且位于旋轉砂輪組件(2)的外側，滑塊機構(43)滑動(dòng)安裝在導軌(42)上，伺服驅動(dòng)單元(44)固裝在滑塊機構(43)上，且角度傳感裝置(45)安裝在伺服驅動(dòng)單元(44)上，線(xiàn)性驅動(dòng)電機(46)固裝在伺服驅動(dòng)單元(44)的輸出端，壓電執行器(47)固裝在線(xiàn)性驅動(dòng)電機(46)的輸出端，夾具固定座(41)安裝在三個(gè)壓電執行器(47)的輸出端。 3.一種如權利要求2所述的高效能自調節精密磨拋系統，其特征在于：每個(gè)壓電執行器(47)的輸出端與夾具固定座(41)之間均設置有位移或壓力傳感器模塊(48)。 4.一種如權利要求2所述的高效能自調節精密磨拋系統，其特征在于：三組調節組件沿周向均布。 5.一種如權利要求1所述的高效能自調節精密磨拋