權利要求
1.一種刀片高度測量裝置,包括下安裝板(1),其特征在于:所述下安裝板(1)的上方設置有上安裝板(2),所述下安裝板(1)和上安裝板(2)之間轉動安裝有轉動環(3),所述上安裝板(2)的上表面固定安裝有上支撐架(4),所述轉動環(3)的上端固定安裝有切割刀(10),所述轉動環(3)的底部設置有活動板(34),所述活動板(34)上設置有多個通槽(47),所述活動板(34)的上表面對于所述切割刀(10)的位置固定安裝有紅外距離傳感器(40),所述活動板(34)的上表面對于所述切割刀(10)的兩側均設置有夾持組件,所述上支撐架(4)的下表面上對應所述夾持組件的位置也固定安裝有紅外距離傳感器(40)。
2.根據權利要求1所述的一種刀片高度測量裝置,其特征在于:所述夾持組件包括內螺紋桿(41),所述內螺紋桿(41)轉動安裝在所述活動板(34)上方且對應所述紅外距離傳感器(40)的兩側,所述內螺紋桿(41)的兩端均螺紋連接有夾持板(42),同側所述內螺紋桿(41)之間設置有內傳動件(43),所述活動板(34)上轉動安裝有中間齒輪(46),所述活動板(34)上均轉動安裝有主齒輪(45),所述主齒輪(45)上均固定安裝有限位齒輪(8),所述限位齒輪(8)套接有傳動鏈(28),所述傳動鏈(28)與所述中間齒輪(46)嚙合,所述內傳動件(43)的一側轉動安裝有從齒輪(44),所述從齒輪(44)與所述主齒輪(45)嚙合。
3.一種半導體加工的劃片機,包括權利要求1-2任意一項所述的一種刀片高度測量裝置,其特征在于:還包括主連接板(7)和側固定板(25),所述下安裝板(1)的下表面轉動安裝有螺紋件(37),所述螺紋件(37)內螺紋連接有下螺紋桿(16),所述下螺紋桿(16)的上端與所述活動板(34)固定連接,所述下安裝板(1)的下表面轉動安裝有齒輪環(36),所述螺紋件(37)上固定安裝有內齒輪(38),所述內齒輪(38)與所述齒輪環(36)的內齒牙嚙合,所述下安裝板(1)的下表面轉動安裝有驅動齒輪(39),所述驅動齒輪(39)與所述齒輪環(36)的外齒牙嚙合,所述主連接板(7)和側固定板(25)均固定安裝在所述上支撐架(4)上,所述主連接板(7)和側固定板(25)之間設置有卸料組件。
4.根據權利要求3所述的一種半導體加工
聲明:
“刀片高度測量裝置及半導體加工的劃片機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)