權利要求書： 1.一種單晶爐排氣管道，包括固定連接的連接管(1)和豎直管(2)，其特征在于：所述連接管(1)和豎直管(2)的側壁分別開設有第一通孔(5)和第二通孔(6)，所述連接管(1)和豎直管(2)的外側壁分別裝配有第一保護組件(3)和第二保護組件(4)，所述豎直管(2)的底端通過固定螺栓(7)固定裝配有封蓋(8)，所述豎直管(2)的頂端通過固定螺絲(10)固定裝配有端蓋(9)。
2.根據權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述第一保護組件(3)包括第一安裝座(31)，所述第一安裝座(31)一體成型于連接管(1)的側壁，所述第一安裝座(31)內轉動連接有第一保護罩(32)，所述第一保護罩(32)的側壁均勻開設有第一連接孔(33)，所述第一保護罩(32)的兩端分別開設有第一卡槽(34)，所述第一安裝座(31)的頂部插接有貫穿至第一卡槽(34)內的第一卡銷(35)，所述第一保護罩(32)的側壁固定連接有第一固定板(36)。
3.根據權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述第二保護組件(4)包括第二安裝座(41)，所述第二安裝座(41)一體成型于豎直管(2)的側壁，所述第二安裝座(41)內轉動連接有第二保護罩(42)，所述第二保護罩(42)的側壁開設有第二連接孔(43)，所述第二保護罩(42)的頂部開設有第二卡槽(44)，所述第二安裝座(41)的頂部插接有貫穿至第二卡槽(44)內的第二卡銷(45)，所述第二保護罩(42)的側壁固定連接有第二固定板(46)。
4.根據權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述第一通孔(5)均勻開設在連接管(1)的頂部側壁，所述第二通孔(6)呈軸對稱均勻開設在豎直管(2)的側壁。
5.根據權利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述端蓋(9)包括底座(91)，所述底座(91)通過固定螺絲(10)與豎直管(2)的頂端相固定連接，所述底座(91)的頂部通過支撐軸(92)固定連接有頂部固定座(93)，所述頂部固定座(93)的頂部裝配有頂部蓋體(94)，所述頂部蓋體(94)的底部固定連接有貫穿至支撐軸(92)內腔的伸縮軸(95)。
說明書： 一種單晶爐排氣管道技術領域[0001] 本實用新型涉及單晶爐技術領域，具
聲明：
“單晶爐排氣管道” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：遼寧博芯科半導體材料有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
