權利要求書： 1.一種從四氟化碳生產工業廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于包括以下步驟：
步驟1：包括用于回收四氟化碳廢氣中六氟乙烷的熱分解提純裝置（100），并通過設置在管路上流量計控制原料流量，通過所述熱分解提純裝置（100）去除可熱分解的微氧，使其轉化為可以吸附、精餾去除的化合物；
步驟2：將步驟1中經過所述熱分解提純裝置（100）后含有微氧和六氟乙烷的四氟化碳通過管道輸送至微氧吸附再生裝置（200）；所述微氧吸附再生裝置（200）在通入氫氣活化合格后，所述微氧吸附再生裝置（200）在脫氧劑的作用下能夠自行分解去除四氟化碳中微量氧化性物質；并將微氧轉換成容易吸附、精餾去除的氫氣、二氧化碳、一氧化碳、鹵代烴；再經過精密過濾器去除含有六氟乙烷的四氟化碳的固體雜質；
步驟3：將步驟2中所述微氧吸附再生裝置（200）經過精密過濾后，進入分餾裝置（300），所述分餾裝置（300）排出的四氟化碳氣體返回四氟化碳生產線中，以提高四氟化碳回收率；
步驟4：將步驟3中含有少量雜質的六氟乙烷依次經過汽化器（400）汽化后進入緩沖罐（500）；并使用隔膜式壓縮機（600）增壓將所述緩沖罐（500）中的六氟乙烷進入帶壓運行的吸附塔（700）；所述吸附塔（700）的吸附溫度為常溫；
步驟5：將所述吸附塔（700）吸附后的六氟乙烷氣體再經過預冷器（800）預冷后依次通過高沸精餾塔（900）和低沸精餾塔（1000）去除雜質；
步驟6：將經過步驟5的六氟乙烷氣體檢測合格后通入低溫產品儲罐（1100），并使用液體泵（1200）將所述低溫產品儲罐（1100）合格六氟乙烷氣體經再次精密過濾后充裝到產品包裝容器（1300）內。
2.如權利要求1所述的一種從四氟化碳生產工業廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于：
所述吸附塔（700）的吸附壓力為0.15～0.80MPa;所述吸附塔（700）中裝填分子篩吸附劑，所述分子篩吸附劑選自3A分子篩、4A分子篩、
5A分子篩、NaX分子篩和13X分子篩中的至少一種。
3.如權利要求1所述的一種從四氟化碳生產工業廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法，其特征在于：
所述高沸精餾塔（900）用于去除夾雜在六氟乙烷氣體中的高沸點雜質；高沸點雜質生產在所述高沸精餾塔
聲明：
“從四氟化碳生產工業廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：福建德爾科技有限公司
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2025年07月23日 ~ 26日 
