本發明公開了一種近零膨脹薄膜材料,其分子式為Mn3InC1+x,由錳、錫、碳三種元素組成,其原子比基本為Mn:In:C=3:1:(1+x),其中(x=?0.2~0.1),其晶體結構為鈣鈦礦結構。本發明所述薄膜材料在220K?330K較寬溫度范圍內具有近零熱膨脹性能,該材料負熱膨脹性能是各向同性的,具有良好熱導性,結構穩定,該材料電阻率為3.45×10?7Ω·m,在合金材料的電阻率范圍,且原料便宜,制備相對簡單,在制備與使用時都非常環保。
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