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基于鋰摻雜氧化鈮的多功能存儲器件及其制備方法

1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:58:44
本發明提供了一種基于鋰摻雜氧化鈮的多功能存儲器件及其制備方法，該多功能存儲器件包括：底電極，轉變層和頂電極；轉變層的材料為鋰摻雜氧化鈮薄膜。本申請的多功能存儲器件，轉變層的材料為鋰摻雜氧化鈮薄膜。且氧化鈮是一種良好的相變材料，制備工藝簡單；該材料價格較低，成本可控；本申請采用鋰摻雜氧化鈮作為轉變層，由于鋰金屬易氧化且與氧空位相互作用，鋰和氧空位一起形成的導電細絲更加穩定，故而使得基于該器件阻變過程中的最低限流低至500μA時實現穩定的雙極性轉變性能。同時基于該材料所得的器件還具有良好的憶阻特性，并且可以用來模擬神經突觸；本申請的基于鋰摻雜氧化鈮的多功能存儲器件，也可實現選通性能。
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“基于鋰摻雜氧化鈮的多功能存儲器件及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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