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在金屬襯底上制備BaZrS3太陽能電池薄膜材料的方法

1035   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:07
本發明公開了一種在金屬襯底上制備BaZrS3太陽能電池薄膜材料的方法，涉及太陽能電池薄膜材料制備領域，包括：稱取BaZrO3粉末并硫化處理得到靶材A；將藍寶石放入磁控濺射系統中鍍鎢得到襯底B；對靶材A和襯底B進行鍍膜得到樣品C；將樣品C進行熱處理得到最終產物BaZrS3太陽能電池薄膜材料。本發明首先制備靶材和金屬襯底，然后將制備的靶材和金屬襯底放置在脈沖激光沉積設備中濺射鍍膜得到樣品，然后對樣品進行熱處理得到最終產物BaZrS3太陽能電池薄膜材料，填補了利用金屬襯底制備鈣鈦礦結構的太陽能電池薄膜材料的空白，對于利用金屬襯底制備鈣鈦礦結構的太陽能電池薄膜材料具有一定的指導意義。
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