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用于銅互聯的導電阻擋層材料及其制備方法

793   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:07
本發明公開了一種用于銅互聯的導電阻擋層材料及其制備方法。該材料包括以下組分：碳酸鋰、鎳粉、氧化銅、氧化鋁、二氧化鈦、硬脂酸、油酸、鈦酸鈉、鈣鈦礦、氮化硅、異丙醇鋁、納米碳、馬來酸酐接枝劑、聚乙二醇。制備過程為，清洗基片；混合碳酸鋰、鎳粉、氧化銅、氧化鋁、二氧化鈦、硬脂酸、油酸、鈦酸鈉、鈣鈦礦、氮化硅、異丙醇鋁、納米碳、馬來酸酐接枝劑、聚乙二醇；再將混合物依次與基片和Cu完成磁控濺射獲得導電阻擋層材料。與現有技術相比，本發明所提供的阻擋層材料熱穩定高，抗氧化性、方塊電阻低，長久防止亦未出現Cu?Si化合物。
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