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鋅鎵鋁三元氧化物旋轉陶瓷靶材及其制備方法

873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:00
本發明涉及一種鋅鎵鋁三元氧化物（中空管狀）旋轉陶瓷靶材及其制備方法。其特點是，原料組成以質量百分比計為：氧化鎵含量為0.5-3.5%、氧化鋁含量為0.5-2.5%、氧化鎢含量為0.002-0.05%，余量為氧化鋅。本發明以氧化鋅、氧化鎵、氧化鋁及微量氧化鎢粉末為原料，采用干法混合、焙燒、濕法球磨分散處理工藝，使各組分在基體內分布均勻，三元氧化物混合粉具有良好分散性和燒結活性。具有高致密性、高成品率，工藝設備簡單，成本較低，易于工業化。靶材具有高密度、低中毒率、可見光（400-700nm）透過率≥90%，近紅外區（700-1400nm）透過率≥85%，適用于DC-磁控濺射大面積薄膜光伏電池鍍膜。
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