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硅片切割刃料的生產方法

1131   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:29:00
本發明涉及一種硅片切割刃料的生產方法。該方法以高純度綠碳化硅為原料,經由顎式破碎并過篩、自動循環式濕法球磨和水力旋流分級、自動溢流式除碳、磁選自動除鐵、堿洗、清洗、PLC自動控制溢流分級、離心脫水、烘干、混配、精篩等步驟而制成的硅片切割刃料。用該方法制備的碳化硅刃料為等積形且保持尖銳的棱角,切割能力強;刃料顆粒具備大的比表面積和清潔的外表,與聚乙二醇等切削液有很強的適配性;采用自動循環濕法球磨和旋流分級進行粉碎的產品等積形多,粒型好且產量高,避免了過粉碎;采用自動磁選無酸除鐵效率高且環保,自動化程度高,非常適合大規模生產。用該方法粉磨后的產品粒徑集中度高且粒型好,可以達到更好的切割效果。
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