本實用新型涉及離子束拋光機領域，具體涉及具有穩定工作狀態的離子束拋光機。
背景技術：
所謂離子束拋光，就是把惰性氣體，如氬、氮等放在密閉空間中，用高頻電磁振蕩或放電等方法對陰極電流加熱，使之電離成為正離子，再用5千至10萬伏高電壓對這些正離子加速，使它們具有一定的能量。利用電子透鏡聚焦，將它們聚焦成一細束,形成高能量密度離子流，在計算機的控制下轟擊放在真空室經過精磨的工件表面，從其表面把工件物質一個原子一個原子地濺射掉。用這種方法實現對工件表面進行深度從100埃到10微米左右的精密加工?，F有的小型離子束拋光機，大都在放電腔的出口端設置格柵板，格柵板外設置鎢絲作為陰極，陽極設置在放電腔內，實現透過格柵板的電離，通過格柵板實現離子束的生成。然而，現有技術中，由于鎢絲無法單獨設置，都需要在格柵板外設置安裝塊來固定鎢絲，鎢絲的一端懸空在安裝塊外，在工作過程中，由于鎢絲溫度極高，鎢絲會逐漸處于熔融狀態，甚至會端部下墜搭靠在格柵板上，同時鎢絲電離過程中會產生大量正離子，這些離子會附著在格柵板、安裝塊表面，時間稍長就會鋪滿格柵板和安裝塊表面，形成導體，并與搭靠在格柵板上的鎢絲構成一個完整的回路，導致鎢絲被短路，無法正常電離出陽離子，導致離子束拋光機無法在較長時間內保持正常工作，需要間隔工作時間進行清理。
技術實現要素：
本實用新型的目的在于提供具有穩定工作狀態的離子束拋光機，以解決現有技術中離子束拋光機無法長時間正常工作的問題，實現提高離子束拋光機的正常工作時長、降低清理頻率的目的。
本實用新型通過下述技術方案實現：
具有穩定工作狀態的離子束拋光機，包括放電腔、位于放電腔內的陽極板、以及設置在放電腔出口端的若干層格柵板，最外層格柵板上設置安裝塊，所述安裝塊上設置鎢絲，所述鎢絲的一端伸出至安裝塊外側，所述安裝塊的側面設置若干方槽，所述方槽的開口方向朝向鎢絲伸出至安裝塊外側的方向。
針對現有技術中離子束拋光機無法長時間正常工作的問題，本實用新型提出一種具有穩定工作狀態的離子束拋光機，放電腔內設置陽極板，鎢絲作為陰極設置在安裝塊上，陰極與陽極之間的連接方式不屬于本實用新型的保護范圍，任何現有的電連接方式即可。放電腔的出口端設置若干層格柵板，便于離子穿過，安裝塊設置在最外層的格柵板上。本實用新型在安裝塊的側面設置若干向內凹陷的方槽，并且使得方槽的開口方向朝著鎢絲伸出方向，因
聲明：
“具有穩定工作狀態的離子束拋光機的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：成都睿坤科技有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
