本發明涉及弱磁場檢測技術領域，尤其涉及一種弱磁場檢測裝置及其制備方法。
背景技術：
在磁場檢測技術領域,從磁場強度角度上大體可分為弱磁場、強磁場和甚強磁場三大類,其中關于弱磁場的檢測技術在很大程度上代表了國家磁場技術發展水平。在科學研究、國防建設、工業生產、日常生活領域，弱磁場的測量常常起著決定性作用，作為一種測量手段，弱磁測量技術在相關領域起著越來越重要的作用。弱磁場檢測技術的發展與應用成為人們密切關切的問題之一。弱磁場的檢測和應用的領域十分廣泛。比如：弱磁場的檢測技術常用于地磁常規和地震預兆檢測；航磁地磁測量和宇航工程的磁場測量，使用的都是弱磁場技術；軍事上艦艇的消磁、魚雷的的制導和衛星測距等都需要用到弱磁場技術；高精度的測磁儀器是地面磁法探礦的主要設備，但環境磁場對這些儀器的影響很大，在使用儀器之前，需要對周圍環境磁場進行檢測；弱磁技術也可應用于地磁衛星、月球磁場以及對金星、水星等外層空間磁場的探測，對天體磁場的研究有很大意義；現代弱磁技術在生物工程和醫療器械方面更是有重要的應用,如：核磁共振ct、肺磁診斷儀、胃磁診斷儀等。弱磁技術是當今高新技術的一個熱點,它的發展前景廣闊。
在弱磁場檢測技術中，傳感器是信號采集檢測的基礎。隨著磁傳感器技術的發展，磁傳感器靈敏度越來越高，本底噪聲越來越小。當前用于弱小磁場檢測的傳感器主要有感應線圈、霍爾元件、各向異性磁敏電阻(anisotropicmagnetoresistance，amr)、巨磁電阻(giantmagnetoresistance，gmr)、磁通門探頭以及隧道磁敏電阻(tunnelmagnetoresistance，tmr)等。以下表1為各種傳感器的技術參數對比：
表1磁傳感器技術參數
感應線圈具有大量程、高精度、制作成本低等特點，在渦流檢測、漏磁檢測中應用十分普遍，但其測量的是磁感應強度的變化率，必須處在變化的磁場中或在磁場中運動才能工作，不能探測靜態和緩慢變化的磁場，對低頻交變的檢測靈敏度低?；魻杺鞲衅骺芍苯訙y量磁場強度值的變化；在低頻時也具有良好的響應能力，可測量10-7～10t的恒定磁場，也可測量頻率10hz～100mhz、磁感應強度5t的交變磁場，以及脈沖持續時間為幾十微秒的脈沖磁場，但其功耗大、線性度差。amr元件雖然靈敏度比霍爾元件高很多，但其線性范圍窄；同時，以amr為敏感元件的磁
聲明：
“弱磁場檢測裝置及其制備方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：北京藍瑪星際科技有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
