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溝槽柵MOS器件缺陷驗證方法

931   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:37:11
本發明公開了一種溝槽柵MOS器件缺陷驗證方法，包含：第一步，對溝槽柵MOS器件樣品進行電學測試，掃描柵極對源極的漏電曲線；第二步，根據漏電曲線的特性，初步判定缺陷的大致位置；第三步，采用亮點定位工具，定位失效溝槽在芯片上的位置；第四步，結合第二步的判定結果，選擇對應的研磨或聚焦離子束方法進行制樣；采用KOH或NaOH溶液溶解殘留的柵極多晶硅，找到缺陷位置。
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聲明：
“溝槽柵MOS器件缺陷驗證方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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