本發明公開了一種基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法,包括:對小樣本失效數據進行處理,所述處理包括數據清洗與特征提取,數據集成與變換;建立基于確定分布、大樣本、多源信息的可靠性評估模型,根據可靠性評估模型進行數據可靠性評估;基于時效性和有效性下數據的健康狀態評估,根據評估結果進行預防性維修決策;基于深度學習進行數據的特征提取、基于深度置信網絡進行特征診斷、基于診斷結果進行預測性狀態維修決策;本發明能夠提高維修效率,節約維修資源。
聲明:
“基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)