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半導體加工設備

1243   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:20:06
本發明提供一種半導體加工設備，包括：傳送腔，設有位移調節器及用于傳送晶圓的傳送手臂，位移調節器與傳送手臂相連，用于調節傳送手臂的位置；工藝腔，設有位移傳感器及工藝組件，其中，工藝組件用于承載傳送手臂送入的晶圓，并驅動晶圓旋轉，位移傳感器用于探測工藝組件的偏移量；數據控制器，用于接收位移傳感器發送的偏移量，并根據偏移量調控位移調節器；本發明可提高制備的晶圓質量；工作人員能及時發現問題降低失效率；避免由于偏移量的不斷增大造成機臺部件的損壞；減少由工藝組件位置偏移導致的機臺停機排查率以及減少維修時間及降低維修難度的問題。
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聲明：
“半導體加工設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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