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信息處理方法、裝置、介質、校正器、模組及設備

1367   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:20:05
本發明屬于微電子技術領域，尤其涉及一種信息處理方法、裝置、介質、校正器、模組及設備?；诠忄徑姆抡婧托Ｕ?，通過對工藝參數的預處理，使得相關的測試過程的效率提高、失效率降低，該方法對于光刻工藝窗口較窄的應用場景，有較強的適應性，在預設的焦距能量矩陣范圍內，提升了信息獲取的效率。
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