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原位清潔PLD電化學表征系統

1010   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:20:04
本實用新型公開了原位清潔PLD電化學表征系統。該系統包括：脈沖激光沉積腔室、激光發射裝置、電化學工作站、反射高能電子衍射儀、配套使用的熒屏和CCD相機、真空手套箱和抽真空設備。該系統將電化學工作站集成到PLD設備中，不僅能夠精確制備結構致密且界面清晰的超清潔薄膜圖案電極，還能夠原位精確地對樣品進行在不同氣氛和不同濕度下的性能測試和表征；此外將脈沖激光沉積(PLD)腔室和真空手套箱連接起來，能夠維持樣品表面高的潔凈度，為后續其它性能表征提供高潔凈度的樣品，提高測試的準確性。由此，對理解器件失效原因和性能提升以及器件的工業生產和應用具有重大意義。
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“原位清潔PLD電化學表征系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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