本實用新型為一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器及傳感系統,該傳感器主要由基座、壓力敏感膜片、光纖、插芯及尾柄組成。本實用新型采用LTCC技術一體化制造直接接觸高溫的壓力敏感膜片和基座,用高溫膠水將光纖固定在尾柄及插芯內,采用陶瓷燒結技術或高溫膠水將插芯與基座連接,使光纖端面與壓力敏感膜片平行放置構成法珀腔,通過光纖傳感技術測量壓力導致的膜片撓度變化,從而進行壓力測量。本實用新型解決了高溫下熱應力不匹配導致的傳感器失效問題。另外,采用光纖傳輸可以隔絕高溫,消除高溫對信號處理電路的影響。在超高溫環境下,所制作的壓力傳感器可以實現寬頻帶的原位壓力測量。
聲明:
“LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器及傳感系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)