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透射電鏡樣品的制備方法

863   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:05:34
本發明提供了一種透射電鏡樣品的制備方法，首先在芯片的正面粘貼一金屬環；然后剝離所述芯片的背面至所需觀測的結構層；最后切除所述金屬環外圍的芯片，保留了所述金屬環連同所述金屬環內的芯片，形成最終的透射電鏡樣品。此時整個金屬環的內部均為薄區，進一步的，所述樣品的面積已達mm2級別，實現了大面積透射電鏡觀測的效果，透射電鏡能夠對該樣品進行大面積觀測以尋找失效結構。
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聲明：
“透射電鏡樣品的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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