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用于VGF磷化銦單晶生長爐內的爐芯

1288   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:02:36
本實用新型公開一種用于VGF磷化銦單晶生長爐內的爐芯，所述爐芯從內到外依次包括爐芯桿、高鋁水泥層和濕氈層，所述爐芯桿包括圓柱形主桿和兩條半圓形側管，側管對稱設置于主桿兩側，并和主桿一體成型，爐芯桿為石英材質，所述側管內置測溫熱電偶，且測溫熱電偶與爐芯桿活動連接，本實用新型的VGF法磷化銦單晶生長爐芯，設計科學，結構簡單，使用方便，爐芯內測溫熱電偶位置可精確調整，使不同爐芯的測溫點固定一致，增加了爐芯內測溫的真實準確性，特別地，在測溫熱電偶失效后，可以自由拆卸測溫熱電偶進行維修或更換，提高了爐芯使用壽命，節約生產成本。
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