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采樣信號同步控制系統

1278   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:02:35
本發明提供一種采樣信號同步控制系統，包括硅片對準測量模塊、以及工件臺位置測量模塊；其中，所述硅片對準測量模塊包括通過外同步總線、內同步總線、以及管理和數據總線連接的對準測量CPU板卡、對準測量同步控制板卡、對準測量數據交換板卡、對準測量并行計算板卡、對準光電解調采集板卡；所述工件臺位置測量模塊包括通過自定義總線、以及管理總線連接的位置測量CPU板卡、位置測量同步控制板卡、位置測量計數板卡。本發明提供的技術方案可有效解決采樣信號同步誤差大、同步脈沖觸發失效和同步節拍漏拍以及系統可靠性低等問題。
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聲明：
“采樣信號同步控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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