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用于弱圖案量化的方法及系統

942   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:02:32
一種弱圖案識別方法包含：從晶片上的一組圖案獲取檢驗數據；識別所述晶片上的失效圖案類型；及將所述失效圖案類型的相同圖案類型分組成圖案群組集。所述弱圖案識別方法還包含從分組于第一群組中的第一圖案類型的多個變化例子獲取圖像數據，其中在不同條件下形成所述第一圖案類型的所述多個變化例子。所述弱圖案識別方法還包含比較從所述第一圖案類型的所述例子的共同結構獲得的圖像以識別所述第一圖案類型的部分內的局部差異。此外，所述弱圖案識別方法包含識別所述第一圖案類型的所述部分內靠近所述第一圖案類型的所述部分內的所述局部差異的位置的計量位點。
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